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超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統(tǒng)

更新時間: 2020-10-24

超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統(tǒng)

芯明天P15系列XYZ壓電納米定位臺是用于超分辨率顯微鏡應(yīng)用的多軸定位臺,通過閉環(huán)控制,可以實現(xiàn)亞納米級的高精度運動,在XYZ平面上的行程范圍可達300微米。

P15內(nèi)部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。FEA使其設(shè)計具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動小化。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E70系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心66×66mm大通孔,非常適合顯微成像、微操作等應(yīng)用。

特點

 XYZ三維運動

 行程范圍300μm/軸

 無摩擦、高精度撓性導向系統(tǒng)

 掃描平整度高

 通孔尺寸66×66mm

 閉環(huán)階躍時間:60ms

 閉環(huán)分辨率:13nm

 承載能力:0.5kg

 

帶載階躍時間

閉環(huán)上升曲線,滿行程階躍時間60ms。

閉環(huán)壓電控制器

E70.D3S壓電控制器采用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力,通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準度與穩(wěn)定性,可靠的抗干擾設(shè)計保證了控制器的高頻響應(yīng)速度。

技術(shù)參數(shù)

功能數(shù)字與模擬集成式控制器

通道數(shù)3

模擬輸入0~10V

輸出電壓0~120/150V

平均電流70mA

帶寬10kHz

傳感器類型SGS

伺服特性P.I+低通+陷波

通信接口:RS-232/422、USB

工作溫度 0~50℃

尺 寸168.5×134×45.5mm

重 量1.2kg

供電電壓24V DC1.5A(36W)

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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