N35系列壓電偏轉鏡
特點
•θx、θy二維偏轉 •大角度偏轉達50mrad •閉環(huán)分辨率達2μrad •可選配閉環(huán)傳感器
結構簡介
N35壓電偏轉鏡（兩軸運動）是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構（PZT壓電陶瓷驅動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。
高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動態(tài)性
N35系列壓電偏轉鏡系統(tǒng)內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在經過FEA建模分析的鉸鏈導向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。
壓電促動器、導向機構及傳感器是免維護的，不易損壞且提供超高的可靠性。
先進的鉸鏈/杠桿設計將慣性小化，允許50mrad的大角度俯仰/偏轉范圍（可將光束偏轉 100mrad），且具有非常快的響應速度，在毫秒級范圍。
除了大偏轉角度及高動態(tài)，N35還提供了微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器（SGS）實現(xiàn)了精確的位置控制，具有優(yōu)異的重復定位精度，通常為滿行程的0.02%。
N35壓電偏轉鏡角度測量
技術參數(shù)
型號：N35.T40S/K
運動自由度：θxθy
偏轉角度@120V：40mrad（≈8250秒）
偏轉角度@150V：50mrad（≈10300秒）
傳感器類型：SGS/-
閉/開環(huán)分辨率：2/1 µrad
閉環(huán)線性度：0.05%F.S.
閉環(huán)重復度：0.02%F.S.
空載諧振頻率：1300Hz
帶載諧振頻率(12.7mm×3mm鏡片)：1050Hz
閉/開環(huán)階躍時間：1.4/1ms
靜電容量：14.5μF
材質：鈦合金
重量：223g
推薦控制器 - E70.D3S壓電控制器
E70.D3S壓電控制器為小體積壓電控制器，具有3個輸出通道，可含一路恒壓輸出，非常適于驅動N35系列壓電偏轉鏡。
